Sèvi ak seleksyon nan pwodwi grafit kabòn pou endistri a semi -conducteurs

Nan endistri a semi-conducteurs, wo-pite grafit se sitou itilize fabrike yon sèl-kristal founisè sistèm chofaj grafit, mwazi aparèy elektwonik, izolan mwazi sinterizasyon, ak mwazi tiristor.

1. aparèy chofaj grafit
Kondisyon pou sistèm chofaj yon sèl-kristal yo se asire ase chalè rapidman fonn Silisyòm, germanium, ak lòt materyèl, pandan y ap tou pèmèt egzak ak pratik ajisteman tanperati. Se poutèt sa, chofaj se tipikman reyalize lè l sèvi avèk chofaj rezistans ak chofaj segondè-frekans.

Metòd chofaj rezistans komen prensipalman konpoze de yon transfòmatè ak yon aparèy chofaj grafit. Komen fòm aparèy chofaj grafit gen ladan tas, dwat, ak espiral.

Gwosè aparèy chofaj la, fòm, ak wotè plas yo prensipalman detèmine pa koule fonn ak kristal rale efikasite. Rezistans li yo dwe matche ak transfòmatè a. Dyamèt enteryè aparèy chofaj la ak wotè yo chwazi pou ke tèt la nan plato a grafit se nan zòn nan gwo tanperati aparèy chofaj la pandan Silisyòm k ap fonn ak anba a nan plato a se nan zòn ki gen gwo tanperati aparèy chofaj la pandan rale kristal. Se longè a nan zòn wo-tanperati a aparèy chofaj la ki gen rapò ak longè a nan fant aparèy chofaj la. Yon fwa yo detèmine dyamèt anndan aparèy chofaj la, yo detèmine epesè lam aparèy chofaj yo ki baze sou pouvwa pwodiksyon transfòmatè a.

2. elektwòd grafit, poto grafit, ak lòt pati grafit
Nan yon sèl-kristal founo, wo-pite grafit yo itilize pa sèlman pou aparèy chofaj, men tou pou elektwòd grafit, poto, izolasyon kouvri, moun ki gen kristal pitit pitit, plato salop, ak plato.

Prensip la, ekipman (lè w ap itilize yon sèl kristal rale) ak pwosesis operasyon nan rale germanium sèl kristal pa metòd la czochralski yo fondamantalman menm jan ak sa yo ki nan rale pi wo a-mansyone Silisyòm sèl kristal yo. Diferans lan se ke grafit ka itilize lè rale germanium sèl kristal, pandan y ap kwatz ranfòsman yo dwe enstale sou sipò nan grafit lè rale Silisyòm sèl kristal paske Silisyòm ak grafit reyaji nan tanperati ki wo.

3. Graphite izolasyon barik
Nan zòn k ap fonn, barik izolasyon grafit yo souvan itilize diminye dansite debwatman.

Se barik la grafit sere nan bobin nan kontwa pi ba ak chofe nan wouj pa gwo-frekans endiksyon elektwomayetik. Chalè a radyan soti nan barik la diminye pèt chalè nan kristal la pwodwi, kenbe yon jaden tanperati relativman inifòm ak reyisi izolasyon la vle.

Fen anwo nan barik la grafit yo dwe nivo ak oswa yon ti kras pi wo pase koòdone nan pi ba nan zòn nan fonn; Sa a se kritik pou diminye dansite debwatman. Si li se 2-3 mm anba a koòdone nan kristalize, dansite nan debwatman ap monte a dè dizèn de milye pou chak santimèt kare. Si li se apeprè 10 mm anba a koòdone nan kristalize, kristal la sèl ap devlope anpil domaj, apwoche yon eta polikristalin. Se pozisyon relatif la nan barik la grafit ak koòdone nan kristalize sitou detèmine pa distans ki genyen ant bobin nan kontwa pi ba ak bobin prensipal la. Fen anwo nan barik la grafit yo dwe nivo ak oswa 0.5-1 mm pi wo pase bobin nan kontwa pi ba yo.

Tanperati a nan barik la grafit ta dwe apwopriye, ni twò nwa ni twò klere. Tanperati twòp ka fonn sifas la sèl-kristal oswa pwodwi liy glise. Zòn cho nan silenn lan grafit gen yon longè sèten ak yon gradyan soti nan tèt a anba. Se poutèt sa, se yon bobin pi gwo mete kòmsadwa anba a pi ba counter-bobin la pou chofaj oksilyè. Wouj la nan silenn lan grafit depann sou pozisyon relatif li yo nan pi ba counter-bobin la: pi wo a li se, wouj la li vin, pandan y ap pi ba a li vin, pi fonse a li vin. Zòn nan kontak ant silenn lan grafit ak bobin a ka bouche akòz dlo a refwadisman andedan bobin a, se konsa bobin a ta dwe sèlman kontakte grafit la nan yon pwen kèk. Nan viraj yo nan bobin a, kote dansite a flux mayetik se wo, grafit la ap parèt patikilyèman klere. Koupe wè yo ta dwe fèt nan grafit la nan kote sa yo elimine tach yo klere.

Malgre ke lè l sèvi avèk yon silenn grafit pou prezèvasyon chalè se pratik pou pwodiksyon an ki estab nan zòn-fonn kristal sèl ak dansite debwatman ki ba epi yo pa gen okenn efè santi'w sou rezistivite kristal sèl la, atansyon atansyon yo ta dwe peye nan plasman nan silenn lan grafit, kòm byen ke manyen strik li yo ak itilize apwopriye, pou fè pou evite lòt efè negatif.

Paske grafit wo-pite gen karakteristik sa yo nan rezistans tanperati ki wo, pite segondè, estabilite dimansyon nan tanperati ki wo, ak bon rezistans chòk tèmik, li se lajman ki itilize nan endistri a semi-conducteurs fè mwazi divès kalite.

1. Mwazi pou aparèy elektwonik sinterizasyon.
Grafit sinterizasyon mwazi yo apwopriye pou sinterizasyon am yo nan divès kalite diodes, triodes, tiristors ak lòt aparèy. Figi 4 montre kèk egzanp nan mwazi sinterizasyon. Bato grafit yo te itilize tou lè yo rale yon sèl kristal lè l sèvi avèk metòd la wo-frekans furnace zòn k ap fonn.

2. divès kalite ensilatè sinterizasyon mwazi.

Mwazi grafit yo sitou itilize pou sinterize divès kalite triode silisyòm rèktifikateur, sipò tiristor, condensateur izolan sinterizasyon, fim epè ak fim mens sikwi entegre ensilatè sinterizasyon, ultra-ti rle, konektè ak lòt eleman ensilatè stering mwazi, elatriye.

Endistri a semi -conducteurs mande pite ki pi wo posib pou materyèl grafit li yo, espesyalman pou konpozan grafit ki antre nan kontak dirèk ak materyèl semi -conducteurs, tankou crucibles ak mwazi sinterizasyon. Paske nivo malpwòpte yo wo anpil, yo dwe pite a nan grafit la anvan tout koreksyon dwe entèdi kontwole ak kontni an sann dwe minimize nan wo-tanperati grafitizasyon.

Endistri a semi-conducteurs egzije tou pou grafit ak grenn fen. Fine-grenn fen grafit pa sèlman fasilite machining presizyon, men tou ofri segondè-gwo tanperati fòs ak mete minim. Sinterizasyon mwazi, an patikilye, mande pou ekstrèmman wo machining presizyon.

Paske konpozan grafit yo itilize nan endistri semi -conducteurs (ki gen ladan aparèy chofaj ak mwazi sinterizasyon) dwe kenbe tèt ak repete chofaj ak sik refwadisman, validite yo mande pou ekselan estabilite dimansyon ak rezistans tèmik chòk nan tanperati ki wo. Pou satisfè kondisyon sa yo, peyi mwen kounye a pwodui yon seri de materyèl grafit apwopriye pou endistri a semi -conducteurs. Pou klas ak enfòmasyon pèfòmans, tanpri al gade JB/T 2750.

Graphite te fè soti nan coke petwòl ki pa kalkile se yon materyèl amann ak grenn fen ak gwo fòs mekanik. Li kapab itilize pou fabrike pwodwi elektwonik tankou vè, plak mens, disk, aparèy pou chofe pou vakyòm ak wo-frekans founo, gwo plak pwotèj chalè, asyèt grafit pou fonn metal pi, grippers (chucks) pou gwo tanperati ekipman eksperimantal, cho-bourade mouri, ak filtè. Materyèl sa a ka opere nan tanperati ki anba a 2500 degre nan atmosfè inaktif oswa pwoteksyon epi yo ka opere pou peryòd pwolonje anba a 2000 degre nan yon vakyòm (10-4 a 10-5 mmHg). Pwopriyete grafit MIIT-8 yo ki nan lis la. Materyèl sa a ka fèt nan pwodwi ki gen fòm espesyal.

Se grafit segondè-pite itilize nan divès eleman nan teknoloji semi-conducteurs. Li se pwodwi pa pirifye òdinè grafit estriktirèl ak gaz reyaktif pandan pwosesis la grafitizasyon. Grafit pirifye yo dwe machined nan kondisyon ki anpeche kontaminasyon nan pwodwi final la. Kontni an sann nan grafit sa a (apre pirifye) pa ta dwe depase 1 × 10-3%, fè a, aliminyòm, ak kontni mayezyòm pa ta dwe depase 3 × 10-5%, ak kwiv la, bor, ak kontni Manganèz pa ta dwe depase 1 × 10-3%. Limit sa yo malpwòpte satisfè klas la pite. Silisyòm ak kontni kalsyòm sa a grafit pa ta dwe depase 3 × 10-4 (%mas). Yo montre kontni ki pa gen gwo pite ak grafit ultra-wo-pite (nan UG/G).

Endistriyèlman disponib, menm pur grafit estriktirèl ki disponib tou. Pwodwi ki fèt ak sa a ki kalite grafit sibi pirifye plis apre D 'diminye kontaminasyon sifas yo. Limit salte yo enkli: fè, aliminyòm, mayezyòm, bor, kwiv, ak Manganèz pa dwe depase 1 × 10-3%, Silisyòm pa dwe depase 3 × 10-3%, ak Titàn, nikèl, Chromium, ak lòt eleman yo dwe mwens pase 1 × 10-5%. Kontni an sann nan grafit sa yo chenn nan 0 a 10-4%.

Ultra-pi, wo-fòs grafit ak yon kouch pwoteksyon te fè soti nan òdinè amann-estriktire grafit ki te pirifye ak degaje nan yon vakyòm, ki te swiv pa densifikasyon sifas ak kabòn pirolitik. Pwodwi ki fèt nan materyèl sa a (aparèy chofaj, disk, grafit asyèt, elatriye) ka itilize yo grandi Silisyòm fim mens lè l sèvi avèk metòd la kwasans epitaksyal gaz. Nivo malpwòpte nan pwodwi sa yo se: fè pa depase 5 × 10-4%, aliminyòm pa depase 2 × 10-4%, mayezyòm ak kwiv pa depase 5 × 10-5%, Titàn pa depase 1 × 10-4%, ak nikèl ak Cobalt pa depase 1 × 10-5%.

Epesè nan kouch nan pwoteksyon densified ki te fòme pa kabòn pirolitik se pa pi gran pase 2mm. Yon kouch mens nan grafit pirolitik, pa plis pase 0.1mm epè, kapab tou gen pou depoze sou sifas la nan pwodwi a densified. Pwodwi grafit densified ak kabòn pirolitik siyifikativman diminye pèmeyabilite yo ak lage gaz (to dezorption gaz).

Eleman chofaj grafit, kouvri izolasyon, parantèz, moun ki gen kristal pitit pitit yo, ak lòt konpozan grafit yo dwe pretrakte anvan yo itilize yo anpeche kontaminasyon nan materyèl semi -conducteurs. Sa a se paske poud grafit ka konfòme yo ak sifas la nan eleman yo oswa antre nan porositë yo nan grafit la pandan D ', ak lòt enpurte kapab tou gen pou prezante nan porositë yo grafit.

Yon metòd pretrateman se tranpe eleman yo nan tetrachlorid kabòn pou plizyè èdtan, Lè sa a, rense ak dlo deionized epi seche yo. Vacuum-chofe yo nan tanperati opere pou 3-4 èdtan ak magazen yo pou itilize pita.

Yon lòt metòd pretratman se tranpe eleman yo nan ak elektrisite dlo pou 24 èdtan, retire yo, epi bouyi yo plizyè fwa ak dlo deionized jiskaske solisyon an se net. Apre siye, mete eleman yo nan yon gwo founo dife ak chofe yo nan yon vakyòm (jeneralman pi wo a 10-1 mmHg) pou 1 èdtan. Tanperati a ta dwe yon ti kras pi wo pase tanperati a opere. Apre refwadisman, retire yo epi mete yo nan yon boutèy desikateur pou itilize pita.

Itilize konpozan grafit yo dwe byen estoke. Anvan reutilizasyon, premye retire kouch sifas la ki pa gen okenn . 0 papye metalografik, Lè sa a, pwòp ak dlo deionized ak alkòl anidrid, Lè sa a, sèk.

Sous: Nasyonal abrazif Sistèm Enspeksyon Kalite (NAQS)

Limit responsabilite nou: atik ki anwo yo yo orijinal soti nan platfòm la oswa reenprime soti nan entènèt la. Si yo enplike copyright, oswa pwopriyetè a copyright pa vle pibliye yo sou platfòm sa a, tanpri kontakte nou, epi nou pral efase yo le pli vit ke nou resevwa enfòmasyon an.